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沈陽芯源微電子設備股份有限公司

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沈陽芯源微電子設備股份有限公司(簡稱“芯源微”,股票代碼:688037)成立于2002年,是由中科院沈陽自動化研究所發起創建的國家高新技術企業,專業從事半導體生產設備的研發、生產、銷售與服務,致力于為客戶提供半導體裝備與工藝整體解決方案。芯源微座落在沈陽市渾南區,公司占地4萬平米,設置了專業的集成電路工藝開發和檢測實驗室以及半導體設備生產組裝車間。沈陽芯源公司作為國內領先的高端半導體裝備制造企業,所開發的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產品,已形成完整的技術體系和豐富的產品系列,可根據用戶的工藝要求量身定制。產品適應不同工藝等級的客戶要求,廣泛應用于半導體生產、高端封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領域??蓾M足300mm前道制程及300mm先進封裝厚膠工藝制程。芯源微立足自主研發,持續引進行業高端人才,通過多年技術積累、創新提高,形成自主知識產權體系。目前,芯源微擁有授權專利159項,主持制定行業標準2項,連續2年被評為中國半導體設備十強企業。2019年,芯源微在上海證券交易所科創板上市,成為遼寧省首家科創板上市企業。芯源微連續承擔國家02科技重大專項《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》項目,依托國家科技重大專項的支持,芯源微將加速提升企業的創新能力和產品成套能力,以先進可靠的產品和優質服務贏得客戶信賴,為客戶提供先進的半導體設備,成為全球半導體設備領先企業,助推產業技術進步。
















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